目前，一些公开了自己EUV工艺的大型晶圆厂包括有台积电、三星以及英特尔。台积电公司就如上文所述，集中应用在7nm工艺以及5nm工艺两个节点，而三星就是应用在7LPP工艺上，英特尔的话努力在明年使得自己的EUV工艺进入产线吧。

至于EUV光刻机的话，目前仍然是只有ASML公司供应。截止到2020年第二季度，ASML已经发货的EUV光刻机预计接近71台。所以，根据台积电公布的数据，这家公司应该拥有30-35台EUV光刻机。

而关于台积电5nm制程工艺上，今年主要服务的对象应该是华为海思和苹果两家公司，产品主要就是麒麟9000处理器以及A14处理器。另外就是，台积电还公布了基于N5的基础的N5P工艺，将提升5%的同功耗性能或减少10%的同性能功耗。

来自路透社的消息称，ASML周一宣布其供应商Prodrive上周六遭遇火灾，摧毁了Prodrive公司部分生产线及库存，ASML公司正在寻找其他供应来源，并帮助Prodrive尽快重启生产。ASML首席执行官兼总裁Peter Wennink在一份声明中表示：“我们希望Prodrive的管理层和员工在恢复生产过程中一切顺利，并尽可能地为他们提供支持。”

供应商遭遇火灾导致产能及库存受损，这对ASML的光刻机交付也会产生影响，ASML公司表示今年内的光刻机交付不会有任何变化，需要几周时间来评估这次危机对他们业务的整体影响。随后ASML更新的声明中强调虽然2018年的光刻机订单交付没问题，但是2019年初的ASML光刻机会延期交付，但延期多久上尚无消息。

根据ASML公司早前财报中的消息，Q3季度ASML出货了5台EUV光刻机，上个季度出货7台EUV光刻机，预计Q4季度出货6台EUV光刻机，全年出货的数量将达到18台，而2019年EUV光刻机预计出货数量达到30台。

ASML的EUV光刻机大客户除了三星、台积电及英特尔之外，国内的中芯国际SMIC今年也订购了一台EUV光刻机，预计会在明年初交付，不过中芯国际订购的EUV光刻机主要用于技术研发，短时间内并没有量产EUV工艺的需求，延期交付对中芯国际的影响并不大。

相比较而言，2019年初延期交付的EUV光刻机对台积电、三星的影响更大，不过这也取决于ASML受到Prodrive火灾的影响有多大，目前具体的灾害损失还没有结果。

2012年7月份英特尔宣布向ASML公司投资33亿欧元（当时约合41亿美元）以助其开发EUV光刻工艺及18英寸晶圆，第一期目标为Intel投资5.53亿欧元（6.8亿美元）协助ASML开发18英寸晶圆制造工具，同时Intel将以17亿欧元（21亿美元）的代价收购ASML公司大约10%的盘前交易已发行股票，最终持股比例达到了15%。

随后三星、台积电也分别投资了ASML公司，三星投资10亿美元获得约3%的股份，台积电花钱买入了约5%的股份，合作方式跟英特尔差不多，一部分是现金支持，一部分是购买股票。

这三家投资ASML最初的目标不是赚钱，而是当时ASML开发EUV工艺陷入了困境，资金匮乏，不帮助一把的话EUV开发可能就没后续了，对英特尔、台积电、三星也没什么好处，毕竟EUV开发上ASML是独一份，而且这个过程确实艰难，英特尔从1997年就参与EUV研究了。

随着EUV光刻机走向正轨，这三家公司在这几年来也不断减持ASML股票，而这次的投资也是赚大了，当年购买ASML股份时股票价格不过40欧元左右，这几年ASML股票一路上涨，现在已经是149欧元了。

在减持上，台积电、三星行动时间比较早，英特尔去年6月份的时候还持有10%的ASML股票，去年底首次减持到5%以内，日前英特尔又一次减持了ASML的股票，持股比例降至3%以内。

英特尔减持ASML股票是投资行为，这个没必要过多解读，但在EUV工艺上英特尔确实是起个大早赶个晚集。当年业界普遍认为英特尔会是第一个应用EUV工艺的，那时候英特尔的半导体工艺遥遥领先台积电、三星，但现在情况不同了，英特尔对上马EUV工艺一点也不热心，远不如台积电、三星。

今年Q2季度中，ASML公司出货了4台EVU光刻机，比预期的多了一台，手中的订单量是7台，Q2季度新增一台EUV光刻机订单，预计全年出货EUV光刻机超过20台，2019年预计出货超过30台，只不过这些订单绝大多数都是三星、台积电购买的。

在这两家之外，Globalfoundries购买了一台EUV光刻机，但现在他们退出7nm工艺了，正在寻求转售或者退货这台光刻机。中国的中芯国际也订购了一台EUV光刻机，预计明年交付，主要用于7nm工艺研究。

英特尔买没买EUV光刻机或者买了多少光刻机还是个谜，即便有买，数量也不多，只限于技术研究，因为英特尔短时间内不可能应用EUV工艺，至少也要等到2021年底，也就是英特尔自家的7nm节点。

今年EUV光刻机的销售额可达到14.82亿美元，去年则是10.36亿美元，预计这个数字在2019年会进一步上升到30亿。ASML的客户都是一些半导体巨头，比如TSMC，三星，Intel等，如果拿不到EUV光刻机，生产计划必定会受到影响，谁也不想看到这样的情况发生。除了来自蔡司的镜头，EUV光刻机现在还面临一些问题，比如光刻机晶片的保护膜仍需要改进。

三星和TSMC都宣布在下一年试产EUV圆晶，反观Intel的态度是不紧不慢，虽然Intel不是第一个用EUV技术量产圆晶的公司，但将来Intel会购买最多的EUV光刻机。

从上表我们可以看到一些有趣的数据，今年三星的资本支出已经达到了170亿美元，Intel是120亿，TSMC也有100亿，最少的是GF，不过所有厂商在EUV部分的花费总共才14.82亿，在2019年这个数字会进一步上升至30亿美元。

被视为拯救摩尔定律的EUV技术，商业化之路走得真是艰辛......