作为全球晶圆代工产业的老大，TSMC台积电一直积极寻求扩大产能，除了目前主流的8寸及12英寸晶圆厂之外，TSMC准备在台中科技园开工建设一座18英寸晶圆厂，因为环保因素之前被三度卡关，现在终于可以有条件通过了，TSMC将斥资5000亿新台币（约159亿美元）兴建中科18寸晶圆厂，预计2017年投产。

TSMC在台中科技园（中科）已经有12寸的Fab 15晶圆厂，员工总数超3400人，创造了2000亿元新台币的产值，占到TSMC营收的28%。此次新建的晶圆厂是18英寸的，虽然TSMC没提18英寸晶圆的意义，不过据目前的消息来看，全球还没几家18英寸晶圆厂，18英寸晶圆的直径是12英寸的1.5倍，同样的工艺下理论产能则是12英寸的2.25倍，这将极大地提升新一代半导体的产能。

TSMC的扩建计划耗资5000亿新台币，约合159亿美元，预计将创造5000个工作岗位，包括3500名主管和工程师以及1500名技术人员，新增的工作岗位也能创造额外的10亿元的税收。

此前TSMC的中科15晶圆厂扩建计划遭到卡关的原因就在于当地大胜山环保团体的反对，这次的环保评议也是有条件通过，TSMC承诺提高环保效率，其中水资源循环利用率超过85%，废气也会经过多段处理，将污染降至最低水平。