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    2021年7月的“英特尔加速创新:制程工艺和封装技术线上发布会”上,英特尔CEO帕特-基尔辛格(Pat Gelsinger)展示了一系列底层技术创新。按照英特尔的计划,至2025年将发布Intel 7、Intel 4、Intel 3、Intel 20A和Intel 18A工艺,其中Intel 7已应用在Alder lake和Raptor Lake上。

    Intel 4就是最初的7nm工艺,该制程节点采用EUV光刻技术,可使用超短波长的光,刻印极微小的图样,每瓦性能约20%的提升以及芯片面积的改进,可应用下一代Foveros和EMIB封装技术,将在Meteor Lake和Granite Rapids中亮相,预计2022年下半年投产,相关产品会在2023年出货。Intel 3凭借对FinFET的进一步优化和在更多工序中增加对EUV使用,相比Intel 4在每瓦性能上实现约18%的提升,将在2023年下半年做好生产准备。

    到了Intel 20A和Intel 18A工艺,将凭借RibbonFET和PowerVia两大突破性技术开启埃米时代。其中RibbonFET是对Gate All Around晶体管的实现,将成为英特尔自2011年推出FinFET以来的首个全新晶体管架构。该技术加快了晶体管开关速度,同时实现与多鳍结构相同的驱动电流,但占用的空间更小。PowerVia是英特尔独有的、业界首个背面电能传输网络,通过消除晶圆正面供电布线需求来优化信号传输。

    据Wccftech报道,IMEC公布的信息显示,英特尔在Intel 18A工艺之后是Intel 14A工艺,预计会在2026年出现,之后是Intel 10A工艺,时间点为2028年。三星在去年的“Samsung Foundry Forum 2022”上,公布了未来的技术路线图,显示其1.4nm工艺预计会在2027年量产。作为当今半导体工艺的领跑者,传闻台积电(TSMC)也在去年组建了1.4nm级制造工艺的研发队伍。目前看来,台积电、三星和英特尔都已经有1.4nm工艺的计划,量产时间大概会在2026年至2027年之间。

    2025年及以后的新工艺也将引入新的光刻设备,英特尔去年就率先买了业界首个TWINSCAN EXE:5200系统。这是ASML一种具有高数值孔径(High-NA)和每小时生产超过200片晶圆的极紫外光(EUV)大批量生产系统,据了解,英特尔将在Intel 18A工艺引入High-NA EUV技术。去年有报道称,台积电计划在2024年引入High-NA EUV光刻机,将用于2nm芯片的制造上。半导体工艺进入2nm时代后,应该会逐步采用High-NA EUV技术,以替换现有的EUV工艺。

    据ASML的首席技术官Martin van den Brink此前的介绍,High-NA EUV光刻机会比现有的EUV光刻机更为耗电,从1.5兆瓦增加到2兆瓦。主要原因是因为光源,High-NA使用了相同的光源需要额外0.5兆瓦,ASML还使用水冷铜线为其供电。High-NA EUV系统将提供0.55数值孔径,与此前配备0.33数值孔径透镜的EUV系统相比,精度会有所提高,可以实现更高分辨率的图案化,以实现更小的晶体管特征。

    此外,新一代光刻机的价格也是惊人的,将从EUV光刻机的1.5亿美元涨至4亿美元以上。

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    已有 3 条评论,共 31 人参与。
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    • cnbeta一代宗师 2023-02-14 01:10    |  加入黑名单

      PPT改名的速度都赶不上台漏电

      就算你10nm的intel7比得上别人7nm,但别人已经到4nm了,差了一代半

      到台积电3nm出来的时候,不知道7nm的Intel4能不能出来。

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      3#

    • hahaemm博士 2023-02-13 21:18    |  加入黑名单

      才喝咖啡,这看得人又昏昏欲睡

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      2#

    • 终结之谷瀑布教授 2023-02-13 16:20    |  加入黑名单

      一个人对未来描绘越多,证明他对现在越没有信心。
      你看,intel这堆计划已经吹了2年了,目前他还在用intel7,这个工艺就是自家的10nm改名版,而且是降低了最初自己10nm的标准之后的改名版。
      而intel4呢?也只是原来计划的7nm的劣化版,即便如此,已经跳票3年的7nm的劣化版,仍然继续跳票到了23年下半年。
      你们猜,这个intel 4会不会继续跳票到24年呢?

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      1#

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